一种阵列基板及其制作方法、液晶显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、液晶显示装置，方法步骤包括：提供一基板，在基板上形成第一导电薄膜，通过构图工艺形成包括像素电极的图案；进而形成金属薄膜，通过构图工艺形成包括公共电极线、栅电极线、数据线、源电极和漏电极的图案；进而形成半导体层薄膜，通过构图工艺形成包括半导体层的图案；进而形成栅极绝缘层薄膜，通过构图工艺形成包括栅极绝缘层和过孔的图案；在形成上述图案的基板上形成第二导电薄膜，通过构图工艺形成包括栅电极和公共电极的图案。在基板的同一层同步形成TFT的数据线、栅电极线、源电极和漏电极，源电极和漏电极之间形成半导体层，该过程可控性好，工艺性能稳定。

主权项

一种阵列基板的制造方法，其特征在于，步骤如下：步骤1、提供一基板，在所述基板上形成第一导电薄膜，通过构图工艺形成包括像素电极的图案；步骤2、在形成上述图案的所述基板上形成金属薄膜，通过构图工艺在同层且同步形成包括公共电极线、栅电极线、数据线、源电极和漏电极的图案；步骤3、在形成上述图案的所述基板上形成半导体层薄膜，通过构图工艺形成包括半导体层的图案；步骤4、在形成上述图案的所述基板上形成栅极绝缘层薄膜，通过构图工艺形成包括过孔的栅极绝缘层图案；所述过孔的位置对应于所述栅电极线和所述公共电极线的位置，所述过孔露出部分所述栅电极线和公共电极线；步骤5、在形成上述图案的所述基板上形成第二导电薄膜，通过构图工艺形成包括栅电极和公共电极的图案；所述栅电极通过贯穿所述过孔与所述栅电极线连接，所述公共电极通过贯穿所述过孔与所述公共电极线连接。