| 摘要 |
<p>평면 기판(10)의 반송로를 형성하는 에어 부상 유닛(1)을 평면 기판의 반송 방향으로 향하여 라인 형태로 배열한 에어 부상 유닛(1)의 열(列)을 복수 병렬로 배열한다. 그리고, 에어 부상 유닛(1)을 평면 기판(10)의 반송로를 형성하는 배면판(背面板)(13)과 배면판(13)의 반송로 방향과 평행한 양측면의 옆면에 위치하고, 배면판(13)의 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출하는 경사 노즐(21)을 가지는 한쌍의 에어 공급관(11, 12)으로 구성한다. 이것에 의해, 액정 기판 등의 평면 기판의 크키, 중량에 따라 유연하게 구성할 수 있음과 동시에 평면 기판을 안정한 상태로 반송 가능하다.</p> |
