一种在绝缘基板上制造具有离子交换增强层的压电元件的方法

摘要

本发明公开了一种在绝缘基板上制造具有离子交换增强层的压电元件的方法，包括：准备压电聚合物材料，将该压电聚合物材料在160～190℃条件下加热使其分解；将分解后的压电聚合物材料与粘结剂及挥发性溶剂混合形成浆料；提供绝缘基板，在该绝缘基板表面形成第一电极层；将该浆料涂附于第一电极层表面，形成第一压电层，干燥该第一压电层；在第一压电层上涂覆离子交换增强层；将该浆料涂附于离子交换增强层表面，形成第二压电层，干燥该第二压电层；以及在该第二压电层表面形成第二电极层；本发明以新颖的压电聚合物材料形成压电层，其电致伸缩应变比现有技术中常用的压电聚合物的压电元件提高4～6％。

主权项

一种在绝缘基板上制造具有离子交换增强层的压电元件的方法，其特征在于，包括如下步骤：准备压电聚合物材料，将该压电聚合物材料在160～190℃条件下加热使其分解；将分解后的压电聚合物材料与粘结剂及挥发性溶剂混合形成浆料；提供绝缘基板，在该绝缘基板表面形成第一电极层；将该浆料涂附于第一电极层表面，形成第一压电层，干燥该第一压电层；在第一压电层上涂覆离子交换增强层；将该浆料涂附于离子交换增强层表面，形成第二压电层，干燥该第二压电层；以及在该第二压电层表面形成第二电极层；其中，离子交换增强层包含离子交换增强材料和纳米导电颗粒；离子交换增强材料为聚三氟氯乙烯、聚四氟乙烯或聚乙烯醇，纳米导电颗粒为碳纳米管、石墨烯或金属纳米颗粒；压电层由压电聚合物形成，该压电聚合物为具有化学结构式(I)的材料；其中n和m各为大于1的整数；p为0或1到300的整数；X和Z各为经取代或未经取代的C₄‑C₆₀芳香族单元或脂肪族单元；Y为经取代或未经取代的C₂‑C₄₀脂肪族单元；和G₁、G₂、G₃和G₄各为经取代或未经取代的C₁‑C₁₂脂肪族基。