結合ウェハ構造体を劈開させるための固定装置及び劈開方法

摘要

結合ウェハ構造体を機械的に劈開させるための装置及び方法を開示する。当該装置及び方法は、結合ウェハ構造体を把持し、当該結合ウェハ構造体を劈開させるために作動するクランプを含む。