发明名称 SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR MAINTAINING SEPARATION OF LIQUIDS IN A CONTROLLED MENISCUS
摘要 <p>근접 헤드를 형성 및 사용하는 시스템 및 방법이 개시된다. 근접 헤드는 헤드 표면을 포함하고, 헤드 표면은 제 1 구역, 제 2 구역, 및 내부 리턴 구역을 포함한다. 제 1 구역은 제 1 편평한 표면 영역 및 복수의 제 1 이산 홀들을 포함한다. 복수의 제 1 이산 홀들의 각각은 복수의 제 1 도관들 중 대응하는 하나의 제 1 도관에 접속된다. 복수의 제 1 이산 홀들은 헤드 표면 내에 있고 제 1 편평한 표면 영역을 통해 연장한다. 복수의 제 1 이산 홀들 중 적어도 일부는 제 1 로우에 배열된다. 제 2 구역은 제 2 편평한 영역 및 복수의 제 2 이산 홀들을 포함한다. 복수의 제 2 이산 홀들의 각각은 복수의 제 2 도관들 중 대응하는 하나의 제 2 도관에 접속된다. 복수의 제 2 이산 홀들은 헤드 표면 내에 있고 제 2 편평한 표면 영역을 통해 연장한다. 내부 리턴 구역은 복수의 내부 리턴 이산 홀들을 포함한다. 내부 리턴 구역은 제 1 구역과 제 2 구역 사이에서 제 1 구역 및 제 2 구역에 인접하게 배치된다. 복수의 내부 리턴 이산 홀들의 각각은 복수의 내부 리턴 도관들 중 대응하는 하나의 내부 리턴 도관에 접속된다. 복수의 내부 리턴 이산 홀들은 헤드 표면 내에 있고 헤드 표면을 통해 연장한다. 복수의 내부 리턴 이산 홀들 중 적어도 일부는 내부 리턴 로우에 배열된다. 제 1 로우와 내부 리턴 로우는 실질적으로 평행하다. 복수의 내부 리턴 이산 홀들의 각각의 에지의 제 1 부분은 헤드 표면 내에 리세스된다.</p>
申请公布号 KR101470672(B1) 申请公布日期 2014.12.08
申请号 KR20097026573 申请日期 2008.05.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/302 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利