| 摘要 |
방법 및 이 방법에 따른 장치. 방법은 제1 재료를 포함하는 기판을 제공하는 단계, 및 제 2 재료를 포함하는 핀을 제공하는 단계를 포함하는데, 핀은 기판 위에 배치되고 장치 활성부를 가지며, 제1 재료와 제2 재료는 그 각각의 결정 구조 사이의 격자 불일치를 나타낸다. 핀을 제공하는 단계는 기판 위에, 제2 재료를 포함하는 양축 변형막을 제공하는 단계; 및 사실상 단축 변형 핀을 형성하기 위해 양축 변형막의 일부분을 제거하는 단계를 포함한다. |
