| 摘要 |
本発明加工材取扱いシステムの一実施形態はコンベアベルト及びロードロックを有する。第１交換ロボットは、加工材を保持し、また配列作出ステーションとロードロックとの間で搬送する。ガントリーロボットは加工材を各コンベアベルトと第１交換ロボットとの間で搬送する。一実施例において、加工済み加工材は第１交換ロボットから第１コンベアベルトに搬送し、未加工加工材は第２コンベアベルトからガントリーロボットを使用して第１交換ロボットに搬送する。第１交換ロボットとともに第２交換ロボットも使用して、加工材をロードロックに対して装荷（ローディング）及び除荷（アンローディング）することができる。【選択図】図１ |
