| 摘要 |
本発明は、サンプルの光学検査に関する、カートリッジ４００、センサデバイス及び方法に関する。ＴＩＲチャンバの検出表面での内部全反射から生じる第１の出力光ビーム及び検査可能なチャンバ４２０の内部から生じる第２の出力光ビームＬ２'の両方が、観測領域ＯＲにおいて受信される。好ましくは、これらの出力光ビームは、同じ光検出器、例えば画像センサで検出される。本発明は、それ故、上記ＴＩＲチャンバで内部全反射を観測することを可能にし、同じ観測領域ＯＲから上記検査可能なチャンバ４２０を調査することを可能にする。これは例えば、上記第１及び上記第２の出力光ビームにより遭遇されるウィンドウの異なる傾斜により、上記出力光ビームの経路における異なる光学要素４０７により、及び／又は上記検査可能なチャンバにおける光散乱表面構造により可能にされる。 |
