Gate valve and FPD manufacturing machine having the same
摘要
<p>여기에서, 게이트 밸브는 챔버 바디(chamber body)의 벽 한쪽에 여기를 구성하도록 설치되고 챔버 바디 안에 기판을 반입하는 것과 반입된 기판을 반출하는 것이 가능하도록 게이트 슬릿을 갖춘 밸브 바디(valve body)와, 이 밸브 바디의 게이트 슬릿을 밸브 바디 안에서 개폐하는 게이트 슬릿 개폐장치로 구성된 것을 특징으로 한다.</p>
