| 摘要 |
<p>본 발명은, 시료에 틸트 빔을 조사해서 취득한 틸트상 또는 좌우 시차각상을, 초점을 연속적으로 보정하면서 관찰할 때 발생하는 시야 어긋남을 억제할 수 있는 하전 입자선 장치를 제공한다. 시료(10) 표면에 1차 하전 입자선의 초점을 연결시키는 대물 렌즈(7)와 1차 하전 입자선을 틸트시키는 경사각 제어용 편향기(53)의 사이에 설치한 시야 보정용 얼라이너(54)에 의해, 경사각 제어용 편향기(53)의 틸트각, 렌즈 조건, 대물 렌즈(7)와 시료(10)의 거리로부터 구해지는 보정량으로, 1차 하전 입자선의 틸트 시에 발생하는 시야 어긋남을, 대물 렌즈(7)의 초점 보정에 연동해서 억제한다.</p> |
