发明名称 |
TAMPON DE POLISSAGE CHIMIQUE MECANIQUE A FENETRE, SOUPLE ET CONDITIONNABLE |
摘要 |
<p>Il est mis à disposition un tampon de polissage chimique mécanique contenant : une couche de polissage ; un bloc-fenêtre de détection de point limite encastré ; une couche rigide ; et un adhésif thermofusible collant la couche de polissage à la couche rigide ; dans lequel la couche de polissage comprend le produit de la réaction d'ingrédients comprenant : un isocyanate polyfonctionnel ; et un système durcisseur ; dans lequel le système durcisseur contient un durcisseur polyol amorcé par une amine et un durcisseur polyol de masse moléculaire élevée ; dans lequel la couche de polissage présente une densité supérieure à 0,6 g/cm3 ; une dureté Shore D de 5 à 40 ; un allongement à la rupture de 100 à 450 % ; et une vitesse de coupe de 25 à 150 µm/h ; et dans lequel la couche de polissage a une surface de polissage adaptée au polissage du substrat. Il est également mis à disposition des procédés pour produire et utiliser le tampon de polissage chimique mécanique.</p> |
申请公布号 |
FR3006219(A1) |
申请公布日期 |
2014.12.05 |
申请号 |
FR20140054943 |
申请日期 |
2014.05.30 |
申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC.;DOW GLOBAL TECHNOLOGIES LLC |
发明人 |
QIAN BAINIAN;JENSEN MICHELLE K.;DEGROOT MARTY W.;REPPER ANGUS;MURNANE JAMES;HENDRON JEFFREY JAMES;NOWLAND JOHN G.;JAMES DAVID B.;YEH FENGJI |
分类号 |
B24B29/02;B24D3/00 |
主分类号 |
B24B29/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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