| 发明名称 |
MANGANESE COMPLEXES AND USE THEREOF FOR PREPARING THIN FILMS |
| 摘要 |
Manganese complexes, methods of making the same, and use thereof in thin film deposition, such as CVD and ALD are provided herein. |
| 申请公布号 |
WO2014193915(A1) |
申请公布日期 |
2014.12.04 |
| 申请号 |
WO2014US39717 |
申请日期 |
2014.05.28 |
| 申请人 |
SIGMA-ALDRICH CO. LLC |
发明人 |
KANJOLIA, RAVI;GARRATT, SHAUN |
| 分类号 |
C08F4/06;B01J31/00 |
主分类号 |
C08F4/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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