| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1), insbesondere einen Laserbearbeitungskopf, zur Bestimmung einer Fokusposition (F, F', F'') eines Hochenergiestrahls (2), insbesondere eines Laserstrahls, relativ zu einem Werkstück (3) und/oder relativ zu einer Referenzkontur (5b) der Vorrichtung (1), umfassend: ein Fokussierelement (4) zur Fokussierung des Hochenergiestrahls (2) auf das Werkstück (3), eine Bilderfassungseinrichtung (9) zur Erfassung eines zu überwachenden Bereichs an der Oberfläche (3a) des Werkstücks (3) und/oder der Referenzkontur (5b) mittels eines durch das Fokussierelement (4) hindurch verlaufenden Beobachtungsstrahlengangs (7), wobei die Bilderfassungseinrichtung (9) zur Bildung von mindestens zwei einer jeweiligen Beobachtungsrichtung (R1, R2) zugeordneten Beobachtungsstrahlen (7a, 7b) ausgebildet ist und eine Abbildungsoptik (14) zur Erzeugung von mindestens zwei Bildern des zu überwachenden Bereichs und/oder der Referenzkontur (5b) aus den mindestens zwei unterschiedlichen Beobachtungsrichtungen (R1, R2) umfasst, sowie eine Auswerteeinrichtung (19) zur Bestimmung der Fokusposition (F, F', F'') des Hochenergiestrahls (2) durch vergleichende Auswertung der aufgenommenen Bilder. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Bestimmen einer Fokusposition (F, F', F'') eines Hochenergiestrahls (2). |
