| 摘要 |
<p>하나 또는 그 초과의 전자 디바이스 제조 시스템들을 작동시키기 위한 방법이 제공되며, 상기 방법은, 1) 프로세스 툴을 이용하여 일련의 전자 디바이스 제조 프로세스 단계들을 수행하는 단계―프로세스 툴은 부산물로서 배출물(effluent)을 생성함 ―; 2) 경감(abatement) 툴을 이용하여 배출물을 경감시키는 단계; 3) 제 1 경감 리소스 공급부로부터 경감 툴로 경감 리소스를 공급하는 단계; 4) 제 1 경감 리소스 공급부로부터 제 2 경감 리소스 공급부로 경감 리소스 공급부를 변경하는 단계―상기 경감 리소스 공급부를 변경하는 단계는, ⅰ) 상기 제 1 경감 리소스 공급부로부터 상기 경감 리소스의 흐름을 중단(interrupt)하는 단계, 및 ⅱ) 상기 제 2 경감 리소스 공급부로부터 상기 경감 리소스의 흐름을 시작하는 단계를 포함함 ―; 및 5) 상기 경감 리소스 공급부를 변경하는 동안 및 경감 리소스 공급부를 변경한 이후, 상기 프로세스 툴을 이용한 일련의 프로세스 단계들을 계속해서 수행하는 단계를 포함한다.</p> |
