| 摘要 |
<p>증발 물질 피딩 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 증발 물질 피딩 장치는, 내부에 소스(source)가 구비되는 진공 챔버(chamber)의 일측에 결합되며, 소스로 피딩(feeding)될 증발 물질이 투입되는 증발 물질 피딩용 서브 챔버; 증발 물질 피딩용 서브 챔버에 연결되어 증발 물질 피딩용 서브 챔버의 내부가 미리 결정된 진공도에 도달되도록 조절하는 진공도 조절유닛; 및 진공 챔버 내에 마련되어 증발 물질 피딩용 서브 챔버 내의 증발 물질을 소스로 이송시키는 증발 물질 이송유닛을 포함한다.</p> |
