| 摘要 |
ＲＥＢＬに好適なスタック型リニアステージは、第１の複数のウェハを第１の軸に沿って第１の方向に平行移動させるように構成された第１の上部高速ステージであって、第１の複数のウェハを固定するように構成された第１の上部高速ステージと、第２の複数のウェハを前記第１の軸に沿って前記第１の方向とは逆方向の第２の方向に平行移動させるように構成され、前記第２の複数のウェハを固定するように構成された第２の上部高速ステージであって、前記第１の上部高速ステージの平行移動と前記第２の上部高速ステージの平行移動とは前記第１の上部高速ステージと第２の上部高速ステージの動きによって生じる慣性反力を実質的に打ち消すように構成された第２の上部高速ステージと、第１および第２の上部高速ステージを第２の軸に沿って平行移動させるように構成された搬送ステージとを含むことができる。 |
