发明名称 Sensorelement und Verfahren zur Erfassung von einer ersten und einer zweiten Komponente einer physikalischen Größe
摘要 Die Erfindung betrifft ein Sensorelement (100) zur Erfassung einer ersten und einer zweiten Komponenten einer physikalischen Größe (a). Das Sensorelement (100) umfasst einen ersten Messaufnehmer (110) zur Aufnahme einer in eine erste Aufnahmerichtung (115) weisenden ersten Komponente der physikalischen Größe (a). Ferner umfasst das Sensorelement (100) einen zweiten Messaufnehmer (120) zur Aufnahme einer in eine zweite Aufnahmerichtung (125) weisenden, zweiten Komponente der physikalischen Größe (a), wobei der erste (110) und zweite (120) Messaufnehmer auf oder in einem Trägersubstrat (135) ausgebildet oder angeordnet sind, das ein Material aufweist, auf oder in dem bei einer Bearbeitung mit einem vorbestimmten Bearbeitungsverfahren Messaufnehmer (110, 120) herstellbar sind, die ausgebildet sind, um die physikalische Größe (a) in einer ersten (115) oder zweiten (125) Aufnahmerichtung aufzunehmen, wobei ein Aufnahmewinkel (130) zwischen der ersten (115) und zweiten (125) Aufnahmerichtung vom Material des Trägersubstrats (135) abhängig ist.
申请公布号 DE102013208948(A1) 申请公布日期 2014.12.04
申请号 DE201310208948 申请日期 2013.05.15
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 NEUL, REINHARD
分类号 G01P13/00;G01P15/00 主分类号 G01P13/00
代理机构 代理人
主权项
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