成膜装置,申请号JP20100070769-传众专利搜索

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发明名称	成膜装置
摘要
申请公布号	JP5635788(B2)	申请公布日期	2014.12.03
申请号	JP20100070769	申请日期	2010.03.25
申请人		发明人
分类号	C23C16/455;C23C16/50;C23C16/52;H01L21/31	主分类号	C23C16/455
代理机构		代理人
主权项
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