一种圆柱形硅棒夹具

摘要

本实用新型提供了一种圆柱形硅棒夹具，旨在解决现有圆柱形硅棒夹具在夹持硅棒时生产的硅片次品较多的问题，包括固定装置、定位装置；固定装置包括设有四个导向柱的下压块，每个导向柱的上部设有螺纹；固定装置还包括下模块、上模块、上压块、四个压紧螺母；上模块的下表面设有上弧形槽，下模块的上表面设有下弧形槽；定位装置包括转接装置、支架、滑杆、调节螺栓；滑杆穿射在支架上且设有刻度，滑杆左右每端均设有一个挡块，滑杆上套接有弹簧。本实用新型中设有硅棒的定位装置和固定装置，方便硅棒的定位和固定，通用性强，定位装置对硅棒的定位比较精确，减小了硅片的厚度误差，提高了硅片的质量。

主权项

一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：包括用于固定硅棒(1)的固定装置、转接在固定装置上且用于控制硅棒(1)位置的定位装置；所述固定装置包括上表面的四个角上分别设有四个垂直于上表面的导向柱(22)的下压块(2)，每个导向柱(22)的上部均设有螺纹；固定装置还包括从上到下依次套接在四个导向柱(22)上的下模块(4)、上模块(5)、上压块(3)、四个分别设置在四个导向柱(22)上的压紧螺母(23)；所述上模块(5)的下表面设有与硅棒(1)相配的上弧形槽(51)，所述下模块(4)的上表面设有与硅棒(1)相配的下弧形槽(41)；所述定位装置包括安装在下压块(2)上的转接装置、转接在转接装置上的支架(7)、设置在硅棒(1)左端且可相对支架(7)左右移动的滑杆(8)、设置在硅棒(1)右侧且设置在支架(7)上的调节螺栓(9)；所述滑杆(8)穿射在支架(7)上且设有刻度，滑杆(8)左右每端均设有一个挡块(81)，滑杆(8)上套接有位于支架(7)和右侧挡块(81)之间的弹簧(6)。