一种火山口型图形化蓝宝石衬底及其制备方法

摘要

本发明公开了一种火山口型图形化蓝宝石衬底及其制备方法。本发明采用普通的商用微米PSS衬底作为压印模板，而非订制加工的压印模板，图形简单费用便宜，巧妙解决了压印模板制备困难且成本高昂的问题；同时利用纳米压印技术制备环形掩模，结合蓝宝石刻蚀技术得到高质量的VPSS，有利于VPSS的商业化；采用二次压印的方法以及IPS技术，避免将压印模板上的图形直接转印到外延片上旋涂的纳米压印胶上，导致模板碎裂；采用热压、紫外共压印STU，增加了产出效率和可重复性；本发明制备的火山口型图形化蓝宝石衬底比普通微米PSS具有更多侧向外延的成分和更多的反射面积，因而更有利于LED出光效率的提升。

主权项

一种火山口型图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1)对微米PSS进行表面清洁与抗粘处理，其中，PSS具有周期性的微米级的突起，形成突起阵列；2)利用热压印将PSS的图形转移到中间聚合物模板IPS上，从而在IPS上形成与PSS互补的图形，得到IPS中间模板，具有周期性的凹陷，形成凹陷阵列；3)对蓝宝石衬底的表面进行预处理，在清洁后的蓝宝石衬底的表面蒸镀硬掩膜，再旋涂纳米压印胶，纳米压印胶的厚度为百纳米级；4)使用IPS中间模板对蓝宝石衬底上的纳米压印胶进行热压、紫外共压印STU，在IPS中间模板的凹陷内的边缘处形成纳米压印胶的环形突起，从而在硬掩膜的表面形成纳米压印胶的环形阵列；5)对蓝宝石衬底的上表面进行去残胶刻蚀，然后以纳米压印胶的环形阵列为掩膜，对硬掩膜进行硬掩膜刻蚀，得到环形掩膜；6)使用湿法腐蚀的方法腐蚀或者干法刻蚀的方法刻蚀蓝宝石衬底，并除去环形掩膜，得到所需要的VPSS结构。