发明名称 |
压电致动器、喷墨头以及压电致动器的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种能够抑制移位偏差的压电致动器。头部(5)具有:基体(21);和压电元件(23),其在厚度方向上相对于基体(21)重叠并固定。压电元件(23)具有板状的压电体(41)以及按照在厚度方向上夹着该压电体(41)的方式而被配置的公共电极(39)以及单独电极(43)。基体(21)的热膨胀系数比压电体(41)(压电元件(23))高。压电体(41)以正方晶为主结晶相,在被公共电极(39)以及单独电极(43)夹着的区域,c轴向厚度方向的一侧(z方向的正侧)的取向度在洛特格林因素下为44%以上56%以下,平面方向上的残留应力在压缩方向上为0MPa以上35MPa以下。 |
申请公布号 |
CN104185555A |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
申请号 |
CN201380014842.6 |
申请日期 |
2013.03.29 |
申请人 |
京瓷株式会社 |
发明人 |
岩下修三 |
分类号 |
B41J2/14(2006.01)I;C04B35/493(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/253(2013.01)I;H01L41/313(2013.01)I |
主分类号 |
B41J2/14(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
樊建中 |
主权项 |
一种压电致动器,具有:基体;和压电元件,其具有板状的压电体以及按照在厚度方向上夹着该压电体的方式而被配置的1对电极,所述压电元件在厚度方向上相对于所述基体重叠并固定,所述基体的热膨胀系数比所述压电元件高,所述压电体以正方晶为主结晶相,在被所述1对电极夹着的区域,c轴向厚度方向的一侧的取向度在洛特格林因素下为44%以上且56%以下,平面方向上的残留应力在压缩方向上为0MPa以上且35MPa以下。 |
地址 |
日本京都府 |