一种磁传感装置的制备工艺

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置的制备工艺，所述制备工艺包括如下步骤：步骤S1：在基底上沉积绝缘的介质材料；步骤S2：依次沉积磁性材料和电极材料，电极材料层同时作为磁性材料的保护层；步骤S3：甩涂光刻胶，曝光，显影；步骤S4：刻蚀，去除多余部分的电极材料、磁性材料，并去除光刻胶；步骤S5：在刻蚀完成后，采用等离子体对圆晶进行清洗，随后在不破坏真空的情况下进行Ta_xN_y材料的沉积，其中，x<y；Ta_xN_y材料用于保护经刻蚀露出的磁性材料的侧壁，避免其被氧化；步骤S6：沉积第二电极层，并进行图形化。本发明提出的磁传感装置的制备工艺，通过在电极材料层上设置一层Ta_xN_y材料，可有效防止磁性材料侧壁部分被氧化，从而提高磁传感装置的性能。

主权项

一种磁传感装置的制备工艺，其特征在于，所述制备工艺包括如下步骤： 步骤S1：在基底上沉积绝缘的介质材料； 步骤S2：依次沉积磁性材料和电极材料，电极材料层同时作为磁性材料的保护层； 步骤S3：甩涂光刻胶，曝光，显影； 步骤S4：刻蚀，去除多余部分的电极材料、磁性材料，并去除光刻胶； 步骤S5：在刻蚀完成后，采用等离子体对圆晶进行清洗，随后在不破坏真空的情况下进行高阻值材料的沉积，；高阻值材料用于保护经刻蚀露出的磁性材料的侧壁，避免其被氧化； 步骤S6：沉积第二电极层，并进行图形化。