基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统

摘要

基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，属于光学领域。解决了现有MEMS扫描系统，扫描视场角小的问题。它包括聚焦透镜组、MEMS微镜、f-θ透镜组和扩角透镜组；入射光经聚焦透镜组透射后，再经MEMS微镜反射后，入射至f-θ透镜组，经f-θ透镜组透射后，入射至扩角透镜组，经扩角透镜组扩角后的透射光与系统光轴的夹角为θ₂，且f₂小于f₁；其中，θ₁为经MEMS微镜反射的光与系统光轴的夹角，f₂表示扩角透镜组的有效像方焦距，f₁表示f-θ透镜组的焦距；所述的MEMS微镜的机械偏转角为[-4°,+4°]，夹角θ₁的范围是[-8°,+8°]。本发明主要应用在光学扫描领域。

主权项

基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，其特征在于，它包括聚焦透镜组(1)、MEMS微镜(2)、f‑θ透镜组(3)和扩角透镜组(4)；入射光经聚焦透镜组(1)透射后，再经MEMS微镜(2)反射后，入射至f‑θ透镜组(3)，经f‑θ透镜组(3)透射后，入射至扩角透镜组(4)，经扩角透镜组(4)扩角后的透射光与系统光轴的夹角为θ₂，且f₂小于f₁；其中，θ₁为经MEMS微镜(2)反射的光与系统光轴的夹角，f₂表示扩角透镜组的有效像方焦距，f₁表示f‑θ透镜组(3)的焦距；所述的MEMS微镜(2)的机械偏转角为[‑4°,+4°]，夹角θ₁的范围是[‑8°,+8°]。