一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置及其混合气体预分离的方法

摘要

一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置及其混合气体预分离的方法，它涉及一种混合气体预分离装置和混合气体预分离方法。本发明的目的是要解决现有回收后的六氟化硫和四氟化碳混合气体相容性较好，无法进行分离和净化处理的问题。装置包括混合气体入口管、干燥器、过滤器、压缩机、风冷器、气体分离塔、液位计、称重传感器、温度传感器、液态灌装机、六氟化硫气体出口管、四氟化碳充装压缩机和四氟化碳气体出口管。方法：一、混合气体回收至分离塔；二、SF₆气体提纯；三、CF₄气体充装；四、第一气体分离塔和第二气体分离塔的气体压力平衡；五、分离塔中SF₆气体灌装。本发明可获得一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置。

主权项

一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置，其特征在于它包括混合气体入口管(1)、干燥器(2)、过滤器(3)、压缩机(4)、风冷器(5)、第一气体分离塔(6)、第二气体分离塔(7)、‑40℃制冷机组(8)的第一热交换器(9)、‑40℃制冷机组(8)的第二热交换器(10)、第一液位计(11)、第二液位计(12)、称重传感器(13)、温度传感器(14)、液态灌装机(15)、六氟化硫气体出口管(16)、四氟化碳充装压缩机(49)和四氟化碳气体出口管(34)；所述的混合气体入口管(1)与手动球阀C₁(17)的入口端相连接，手动球阀C₁(17)的出口端与电磁阀V₁(19)入口端相连接，手动球阀C₁(17)与电磁阀V₁(19)之间设有第一压力表(18)，电磁阀V₁(19)的出口端与稳压阀F₁(20)的一端相连接，稳压阀F₁(20)的另一端与干燥器(2)的入口端相连接，干燥器(2)的出口端与过滤器(3)的一端相连接，干燥器(2)与过滤器(3)之间设有第一压力传感器(22)，过滤器(3)的另一端与手动球阀C₂(23)的一端相连接，手动球阀C₂(23)的另一端与压缩机(4)的入口端相连接，压缩机(4)的出口端与风冷器(5)的一端相连接，风冷器(5)的另一端与单向阀S₁(24)的入口端相连接，单向阀S₁(24)的出口端与电磁阀V₂(26)的入口端相连接，单向阀S₁(24)与电磁阀V₂(26)之间设有第一压控开关(25)，电磁阀V₂(26)的出口端与手动球阀C₃(27)的入口端相连接；所述的第一气体分离塔(6)的下端与第二气体分离塔(7)的上端之间设有与第一气体分离塔(6)和第二气体分离塔(7)分别相连通的不锈钢管(28)，在不锈钢管(28)上设有电动球阀DF₁(29)；手动球阀C₃(27)的出口端分别与第一气体分离塔(6)的底端和电动球阀DF₁(29)的一端相连接；手动球阀C₁₀(48)的一端分别与第一气体分离塔(6)的底端和电动球阀DF₁(29)的一端相连接，手动球阀C₁₀(48)的另一端分别与第二气体分离塔(7)的上端和电动球阀DF₁(29)另一端相连接；第一气体分离塔(6)内设有‑40℃制冷机组(8)的第一热交换器(9)，第二气体分离塔(7)内设有‑40℃制冷机组(8)的第二热交换器(10)，‑40℃制冷机组(8)的第一热交换器(9)上设有制冷剂进口阀D₁(8‑1)，‑40℃制冷机组(8)的第二热交换器(10)上设有制冷剂进口阀D₂(8‑2)；所述的第一气体分离塔(6)的上端与手动球阀C₇(30)的一端相连接，手动球阀C₇(30)的另一端与电磁阀V₄(31)的入口端相连接，电磁阀V₄(31)的出口端与稳压阀F₂(32)的入口端相连接，稳压阀F₂(32)的出口端与四氟化碳充装压缩机(49)的入口端相连通，四氟化碳充装压缩机(49)的出口端与手动球阀C₉(33)的一端相连通，四氟化碳充装压缩机(49)与手动球阀C₉(33)之间设有第二压控开关(46)和第四压力表(47)，手动球阀C₉(33)的另一端与四氟化碳气体出口管(34)的一端连接；所述的第二气体分离塔(7)的下端与手动球阀C₄(35)的一端相连接，手动球阀C₄(35)的另一端与手动球阀C₅(36)的一端相连接，手动球阀C₅(36)的另一端与液态灌装机(15)的入口端相连接，液态灌装机(15)的出口端与单向阀S₂(37)的入口端相连接，单向阀S₂(37)的出口端与电磁阀V₃(38)的入口端相连接，电磁阀V₃(38)的出口端与手动球阀C₆(39)的入口端相连接，电磁阀V₃(38)与手动球阀C₆(39)之间设有第三压力表(40)和第二安全阀(41)，手动球阀C₆(39)的出口端与六氟化硫气体出口管(16)相连通。