基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统

摘要

基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制，次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步，实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。

主权项

基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，其特征在于，它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C、运动控制卡、同步控制卡、光栅译码卡、激光计数卡、信号采集卡、安全保护卡和同步自定义总线；上位机的控制信号输入输出端与工控机的控制信号输入输出端连接；工控机通过VME总线分别与次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C通讯，次主控卡A的运动控制信号输入输出端与运动控制卡的运动控制信号输入输出端连接，次主控卡A的同步控制信号输入输出端与同步控制卡的同步控制信号输入输出端连接，次主控卡B的译码控制信号输入输出端与光栅译码卡的译码控制信号输入输出端连接，次主控卡B的计数控制信号输入输出端与激光计数卡的计数控制信号输入输出端连接，次主控卡C的采集控制信号输入输出端与信号采集卡的采集控制信号输入输出端连接，次主控卡C的保护控制信号输入输出端与安全保护卡的保护控制信号输入输出端连接，同步控制卡、光栅译码卡、激光计数卡、信号采集卡和安全保护卡均连接同步自定义总线。