一种高功率CO₂激光器的快速启动系统及方法

摘要

本发明涉及高功率CO₂激光器领域，提供一种高功率CO₂激光器的快速启动系统及方法，所述系统包括传感检测单元、控制单元及执行单元；所述方法包括：A.启动低压电源，开启真空泵，抽取谐振腔内N₂，使所述谐振腔内气压逐渐降低；B.当所述谐振腔内气压降至第一预设气压时，真空泵关闭，并同时开启He及CO₂的控制阀门，向所述谐振腔内充入He及CO₂，使其内部气压逐渐升高；C.当所述谐振腔内气压升至工作气压时，启动驱动装置、高压电源及电子光闸。启动时并非将谐振腔内气体抽至完全真空，只需很短时间便可以达到；在充入He和CO₂气体时，也并非从真空状态开始，所以很快便可以将气体充至工作气压，缩短了启动时间。

主权项

一种高功率CO₂激光器的快速启动方法，所述激光器包括谐振腔、与谐振腔连通真空泵、驱动谐振腔内气体流动的驱动装置以及分别控制He、N₂及CO₂气体进入谐振腔的控制阀门，所述快速启动方法包括以下步骤：A、启动低压电源，开启真空泵，抽取谐振腔内N₂，使所述谐振腔内气压逐渐降低；B、当所述谐振腔内气压降至第一预设气压时，真空泵关闭，并同时开启He及CO₂的控制阀门，向所述谐振腔内充入He及CO₂，使其内部气压逐渐升高；C、当所述谐振腔内气压升至工作气压时，启动驱动装置、高压电源及电子光闸。