一种3D-MEMS光开关

摘要

一种3D-MEMS光开关，包括：准直器阵列、PD阵列、覆盖在所述PD阵列上的加镀有部分反射膜的窗口玻璃、微机电系统MEMS微镜以及与所述PD阵列、所述MEMS微镜连接的核心光开关控制器。本发明中，将PD阵列集成到核心光开关内部，简化了光开关架构和体积，采用覆盖在PD阵列上且加镀有部分反射膜的窗口玻璃，折叠了光路，光信号部分透射到PD阵列上，从而核心光开关控制器根据PD阵列检测到的光信号的光功率调整MEMS微镜，使3D-MEMS光开关的插入损耗满足预设的衰减区间，本发明简化了空间光路的设计，有利于实现大规模3D-MEMS光开关，且节省了成本。

主权项

一种三维微机电系统3D‑MEMS光开关，其特征在于，所述3D‑MEMS光开关包括：准直器阵列、功率检测器PD阵列、覆盖在所述PD阵列上的加镀有部分反射膜的窗口玻璃、微机电系统MEMS微镜以及与所述PD阵列、所述MEMS微镜连接的核心光开关控制器；所述覆盖在所述PD阵列上的加镀有部分反射膜的窗口玻璃，用于从所述准直器阵列获取光信号，将从所述准直器阵列获取到的光信号部分反射到所述MEMS微镜上并部分透射到所述PD阵列上，还用于获取所述MEMS微镜反射的光信号，将所述MEMS微镜反射的光信号部分反射到所述准直器阵列上并部分透射到所述PD阵列上；所述PD阵列，用于检测所述透射到PD阵列上的光信号的光功率；所述核心光开关控制器，用于根据所述检测到的所述透射到PD阵列上的光信号的光功率调整所述MEMS微镜，使所述3D‑MEMS光开关的插入损耗满足预设的目标衰减值。