生物微机电系统传感器、设备及其方法

摘要

电子装置、设备、系统以及用于操作并构造装置、设备和/或系统的方法包括无线传感器，该无线传感器构造为测量植入在对象中的硬件的应变。在各种实施例中，硬件应变的瞬时测量包括监测传感器的谐振频率的变化。传感器可以实现为感应驱动装置并用作全芯片上型的谐振器，其中传感器的各部件是生物相容的。另外的设备、系统和方法也被公开。

主权项

一种采用安装到可植入在对象中的植入硬件装置或与植入硬件装置一体化的应变传感器装置来监测所述植入硬件装置的变化的方法，其中，所述应变传感器装置包括：基板；电介质材料，配置在所述基板上作为电容器电介质，该电介质材料为固体材料，且当所述植入硬件装置经受应变时经受应变；以及至少一个导电线圈，配置在所述电介质材料上，谐振器，由所述电介质材料和所述导电线圈构成，并用作应变计量器；其中，所述基板、所述电介质材料以及所述导电线圈被配置为具有植入在生物对象中的生物相容性；其中所述谐振器能被感应驱动而没有并入电源；其中所述谐振器响应于向所述应变传感器装置发送的交变的磁场或电磁场而输出电磁波信号，所述电磁波信号对应于所述谐振器的谐振频率，并且其中所述谐振器的谐振频率相应于施加到所述谐振器的应变而偏移；该方法包括步骤：在一段时间内不同时间向所述应变传感器装置发送交变的磁场或电磁场感应驱动所述谐振器；在所述一段时间内不同时间接收由所述谐振器响应于所述交变的磁场或电磁场的感应驱动而输出的电磁波信号，且当所述植入硬件装置经受应变时所述谐振器经受应变；基于接收的信号确定一段时间内不同时间所述谐振器的谐振频率偏移；以及基于确定的所述一段预定时间内所述谐振器的谐振频率偏移来确定所述植入硬件装置的应变的瞬时变化。