PLASMA CONFINEMENT RINGS INCLUDING RF ABSORBING MATERIAL FOR REDUCING POLYMER DEPOSITION
摘要
<p>플라즈마 한정링은 플라즈마 노출 표면 상의 폴리머 증착을 실질적으로 감소시키기 위하여 링의 플라즈마 노출 표면 상의 충분히 높은 온도에 도달하도록 적응된다. 플라즈마 한정링은 링의 일부에서의 가열을 강화하는데 효과적인 RF 손실 재료를 포함한다. 저 복사율 재료가 가열 효과를 강화하기 위해 플라즈마 한정링 조립체의 일부상에 제공될 수 있다.</p>
