| 发明名称 | 基板处理装置的故障监视系统及基板处理装置的故障监视方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供用于监视对被处理基板实施规定处理的基板处理装置的故障的基板处理装置的故障监视系统，所述基板处理装置的故障监视系统具备：警报收集单元，其收集由所述基板处理装置发出了的警报；和解析单元，其解析通过所述警报收集单元收集到的警报，并且在将一个轴设为确定警报发出部位的警报ID、将另一个轴设为规定的监视期间的2维空间上作为表示各监视期间的警报发出频率的图像而显示。 | ||
| 申请公布号 | CN104185893A | 申请公布日期 | 2014.12.03 |
| 申请号 | CN201380016313.X | 申请日期 | 2013.03.14 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 波冈一朗 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;G01N35/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李洋;舒艳君 |
| 主权项 | 一种基板处理装置的故障监视系统，其用于监视对被处理基板实施规定处理的基板处理装置的故障，其特征在于，具备：警报收集单元，其收集由所述基板处理装置发出了的警报；和解析单元，其解析通过所述警报收集单元收集到的警报，并且在将一个轴设为确定警报发出部位的警报ID、将另一个轴设为规定的监视期间的2维空间上作为表示各监视期间的警报发出频率的图像而显示。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||