一种气体流量配比控制系统

摘要

本实用新型公开了一种气体流量配比控制系统，包括依次连接的气源进口、过滤器、气流控制系统、及气体出口，其中，气流控制系统包括多个并联设置的气路单元，每个气路单元包括依次连接的流量校准阀、二通电磁阀、限流阀，过滤器与气流控制系统之间还连接有气压控制系统。其中，气压控制系统包括步进电机、控制单元、压力传感器、以及连接在过滤器与流量校准阀之间的可调减压阀，压力传感器的一端连接在可调减压阀的出口与流量校准阀之间，压力传感器的另一端连接控制单元，控制单元连接步进电机，步进电机连接可调减压阀。该气体流量配比控制系统稳定性高、成本低且更安全。

主权项

一种气体流量配比控制系统，其特征在于，包括依次连接的气源进口(1)、过滤器(2)、气流控制系统、及气体出口，其中，所述气流控制系统包括多个并联设置的气路单元，每个所述气路单元包括依次连接的流量校准阀(3)、二通电磁阀(4)、限流阀(6)，所述过滤器(2)与所述气流控制系统之间还连接有气压控制系统。