| 摘要 |
【課題】所望の照明条件で照明することができる照明装置、及び検査装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様にかかる照明装置１１は、放電プラズマによってＥＵＶ光を発生するＥＵＶ光源２１と、ＥＵＶ光源２１から出射したＥＵＶ光を選択的に透過させるフィルタ２２と、フィルタ２２を透過したＥＵＶ光を集光する第１の凹面鏡２３と、第１の凹面鏡２３で集光されたＥＵＶ光を反射する第２の凹面鏡２４と、ＥＵＶ光を部分的に遮光するためにフィルタ２２から第２の凹面鏡２４までの光路中に配置され、ＥＵＶ光を遮光する領域Ａが可変となっている遮光部材３１と、を備えたものである。【選択図】図２ |
