腔室的压力控制方法

摘要

一种腔室的压力控制方法，所述腔室包括一个气体扩散口和一个气体排出口，包括：设置目标压力，获取与所述目标压力相对应的气体排出口开口宽度；保持所述气体排出口开口宽度不变，使腔室的压力为目标压力。本发明可以得到精确稳定的腔室压力。

主权项

一种腔室的压力控制方法，所述腔室包括一个气体扩散口和一个气体排出口，其特征在于，包括：设置目标压力，获取与所述目标压力相对应的气体排出口开口宽度，其中，所述获取与所述目标压力相对应的开口宽度包括：采用压力伺服模式，获取气体排出口初始开口宽度；测量腔室的实际压力，比较所述实际压力与所述目标压力；当所述实际压力与所述目标压力的差值的绝对值小于或等于阈值时，将所述初始开口宽度作为与所述目标压力相对应的开口宽度；当所述实际压力与所述目标压力的差值的绝对值大于阈值时，则调节所述初始开口宽度，并再次测量腔室的实际压力和比较所述实际压力和所述目标压力，直至所述实际压力与所述目标压力的差值的绝对值小于或等于阈值，将腔室此时的开口宽度作为与所述目标压力相对应的开口宽度；保持所述气体排出口开口宽度不变，使腔室的压力为目标压力。