一种利用热分解特性获得自支撑氮化镓基板的方法

摘要

本发明公开了一种利用热分解特性获得自支撑氮化镓基板的方法。所述方法为：在蓝宝石基板上依次生长第一缓冲层、第二缓冲层；在第二缓冲层上高温生长氮化镓厚膜层；在氮化镓厚膜生长时，第一缓冲层高温热分解为镓和氮气，使氮化镓厚膜层与蓝宝石基板之间产生空隙；缓冲层和氮化镓厚膜层生长完后，在冷却过程中氮化镓厚膜层与蓝宝石基板逐渐分离，得到的氮化镓基板。采用本发明提供的氮化镓基板的方法，生产效率更高，能生产一定厚度的氮化镓基板且不易产生裂纹，提高生产质量。

主权项

一种利用热分解特性获得自支撑氮化镓基板的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)：在蓝宝石基板(1)上依次生长第一缓冲层(3)、第二缓冲层(4)；步骤2)：在第二缓冲层(4)上高温生长氮化镓厚膜层(2)；步骤3)：在氮化镓厚膜层(2)生长时，第一缓冲层(3)高温热分解为镓(Ga)和氮气(N)，使氮化镓厚膜层(2)与蓝宝石基板(1)之间产生空隙；步骤4)：氮化镓厚膜层(2)生长完后，在冷却过程中氮化镓厚膜层(2)与蓝宝石基板(1)逐渐分离，得到的氮化镓基板。