具有加热功能的工件传输装置

摘要

本发明提供一种具有加热功能的工件传输装置，涉及半导体加工制造技术领域。该工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行加热处理的加热组件。本发明的技术方案对工件采用传送的方式，另外在传送过程中还可以对工件进行加热处理，能够减少工件传递和加热处理的时间消耗，提高工件处理效率。

主权项

一种具有加热功能的工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置，其特征在于，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行加热处理的加热组件。