发明名称 |
一种堵片报警方法及系统 |
摘要 |
本发明公开了一种堵片报警方法,用于制绒机及湿法刻蚀机的堵片报警,先获得硅片经过进片传感器和出片传感器所需的通过时间T;硅片先经过进片传感器,进片传感器检测到硅片后,经过T时间后,判断出片传感器是否能够检测到硅片,若检测到硅片,则硅片正常通过,若没检测到硅片,则设备发生了堵片,发出堵片报警信号。该堵片报警方法能够及时准确的提示设备内是否发生堵片,使操作者及时发现设备内发生了堵片并进行处理,将损失降到最低,降低成本,同时避免了人工定时检查,减少了操作者的工作量,并提高了安全性。本发明还提供了一种应用上述堵片报警方法的堵片报警系统。 |
申请公布号 |
CN104183671A |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
申请号 |
CN201410448637.7 |
申请日期 |
2014.09.04 |
申请人 |
天津英利新能源有限公司 |
发明人 |
李建朋;吴成新;王月超;李永洋;张继伟;杨晓超 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
罗满 |
主权项 |
一种堵片报警方法,用于制绒机及湿法刻蚀机的堵片报警,其特征在于,包括以下步骤:1)获得硅片经过进片传感器和出片传感器所需的通过时间T;2)判断所述进片传感器是否检测到所述硅片,若是,进入步骤3);若否,返回步骤2);3)判断T时间后所述出片传感器是否检测到所述硅片,若是,返回步骤2);若否,进入步骤4);4)发出堵片报警信号。 |
地址 |
301510 天津市滨海新区津汉公路13888号滨海高新区滨海科技园日新道188号 |