蒸发镀膜装置

摘要

本发明公开一种蒸发镀膜装置，涉及蒸发镀膜技术领域，解决了由于加热用线源越来越长，导致有机材料在基板表面成膜的均一性变差的问题。所述蒸发镀膜装置，包括：柱状体，其包括表面设有凹槽的筒体，以及与筒体匹配套装的中空套筒，凹槽沿筒体中心线方向延伸设置，且凹槽内设有多个间隔设置的隔间，中空套筒顶端区域设有第一蒸发孔；坩埚，其包括一端敞口、四周密封的本体，以及与本体匹配连接的盖罩，且盖罩上设有第二蒸发孔，本体置于隔间内；加热体，其为中空柱状结构，且柱状体位于加热体内部，加热体上设有喷嘴；内加热丝，其连接有控制单元，且内加热丝设在隔间位置处；外加热丝，其设在加热体外表面。本发明主要用于大尺寸显示器的制作。

主权项

一种蒸发镀膜装置，其特征在于，包括：柱状体，所述柱状体包括表面设有凹槽的筒体，以及与所述筒体匹配套装的中空套筒；所述凹槽沿所述筒体中心线方向延伸设置，且所述凹槽内设有多个间隔设置的隔间；所述中空套筒顶端区域设有第一蒸发孔；坩埚，所述坩埚包括一端敞口、四周密封的本体，以及与所述本体匹配连接的盖罩，且所述盖罩上设有与所述第一蒸发孔相对应的第二蒸发孔；所述本体置于所述隔间内；加热体，所述加热体为中空柱状结构，且所述柱状体位于所述加热体内部；所述加热体上设有与所述第一蒸发孔相对应的喷嘴；内加热丝，所述内加热丝连接有控制单元，且所述内加热丝设在所述隔间位置处；外加热丝，所述外加热丝设在所述加热体外表面。