用于传送衬底进行键合的装置

摘要

本发明公开了一种用于在衬底上完成键合的键合装置，包含有：第一衬底固定部件用于在键合期间夹持第一衬底，第二衬底固定部件用于在键合期间夹持第二衬底，每一个衬底固定部件被操作来在其各自的用于接收衬底的装载位置、键合衬底的键合位置和键合后的衬底从衬底固定部件处移离的卸载位置之间顺序移动；第一驱动机构，其被操作来沿着第一进给路径从其装载位置驱动第一衬底固定部件至其键合位置，以及沿着第一返回路径从其卸载位置驱动第一衬底固定部件至其装载位置；第二驱动机构，其被操作来沿着第二进给路径从其装载位置驱动第二衬底固定部件至其键合位置，以及沿着第二返回路径从其卸载位置驱动第二衬底固定部件至其装载位置。

主权项

一种用于在衬底上完成键合的键合装置，该装置包含有：第一衬底固定部件和第二衬底固定部件，第一衬底固定部件用于在键合期间夹持第一衬底，第二衬底固定部件用于在键合期间夹持第二衬底，第一衬底固定部件和第二衬底固定部件中每一个被操作来在其各自的用于接收衬底的装载位置、键合衬底的键合位置和键合后的衬底从衬底固定部件处移离的卸载位置之间顺序移动；第一驱动机构，其被操作来沿着第一进给路径从其装载位置驱动第一衬底固定部件至其键合位置，以及沿着第一返回路径从其卸载位置驱动第一衬底固定部件至其装载位置；以及第二驱动机构，其被操作来沿着第二进给路径从其装载位置驱动第二衬底固定部件至其键合位置，以及沿着第二返回路径从其卸载位置驱动第二衬底固定部件至其装载位置，其中第一衬底固定部件安装在第一引导轨道上，第二衬底固定部件安装在第二引导轨道上，并且所述第一引导轨道和所述第二引导轨道设置在穿过每个衬底固定部件的装载位置、键合位置和卸载位置的直线的相对侧，所述每个第一衬底固定部件及第二衬底固定部件各自的键合位置位于第一进给路径和第二进给路径之间，所述第一进给路径及第二进给路径呈线性。