发明名称 一种用于区熔炉的晶体切割装置
摘要 本发明创造提供一种用于区熔炉的晶体切割装置,包括切割装置和夹持机构,切割装置包括切割片、气动马达、机械臂和电机,夹持机构包括夹持器主体、夹持片、导向杆、支撑片支架、夹持器托盘、支撑片和导向块。在单晶生长失败后,使用切割片对晶体细颈进行切割截断,并将截断的锥头进行收集,取消了拆炉、装炉的过程,实现不拆炉、重新拉晶。对夹持机构进行改进,使导向杆能够满行程升降而夹持片不会滑落,并保证夹持片角度固定不变。切割装置在停止使用时能隐藏在炉壁中,有效地避免热辐射对装置内部结构的影响。利用半圆环状板作为对切割后锥头的收集,以防止其掉落影响下轴的传动,也达到了保护作用,并可对锥头二次利用。
申请公布号 CN104178804A 申请公布日期 2014.12.03
申请号 CN201410381805.5 申请日期 2014.08.06
申请人 天津市环欧半导体材料技术有限公司 发明人 冯啸桐;刘嘉;刘铮;赵宏波;王遵义;孙昊
分类号 C30B13/00(2006.01)I 主分类号 C30B13/00(2006.01)I
代理机构 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人 杨慧玲
主权项 一种用于区熔炉的晶体切割装置,其特征在于:包括区熔炉本体、切割装置和夹持机构,所述区熔炉本体包括炉壁和内部腔体,所述切割装置和夹持机构均位于所述内部腔体中,所述切割装置包括切割片(1)、气动马达(2)、机械臂(3)和电机(4),所述气动马达(2)与所述切割片(1)连接,带动切割片(1)旋转,所述气动马达(2)与机械臂(3)的一端连接,所述电机(4)与所述机械臂(3)的另一端连接,带动所述机械臂(3)沿电机(4)轴向前后移动,所述电机(4)位于炉壁上,所述夹持机构包括夹持器主体(5)、夹持器托盘(9)、夹持片(6)、导向杆(7)、支撑片支架(8)、支撑片(10)和导向块(11),所述夹持片(6)、导向杆(7)、支撑片支架(8)、支撑片(10)和导向块(11)为若干个,所述夹持器托盘(9)的顶面设有所述夹持器主体(5)和若干支撑片支架(8),所述若干支撑片支架(8)位于所述夹持器主体(5)外围,所述夹持器主体(5)上端侧面设有一圈环状突起,所述环状突起上设有若干穿透孔,所述支撑片(10)的一端穿透所述支撑片支架(8)的顶端,且所述支撑片(10)与所述支撑片支架(8)的顶端活动连接,所述支撑片(10)的另一端设有凸起,所述凸起伸入所述导向杆(7)的头部下端,支撑所述导向杆(7),所述导向杆(7)的头部侧壁设有凹槽,所述导向块(11)与所述支撑片(10)设有凸起的一端相连,所述导向块(11)与所述凹槽配合,且所述导向块(11)可在所述凹槽内滑动,所述导向杆(7)的尾部从下向上穿透所述环状突起上的穿透孔,并与所述夹持片(6)连接。
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