多环形自适应抛光磨头

摘要

本发明公开了一种多环形自适应抛光磨头，属于光学冷加工技术领域。解决了现有非球面抛光技术中磨头表面与工件表面不匹配、无法抑制中频误差的问题。本发明的多环形自适应抛光磨头包括法兰轴、多环刚性基底、柔性环和抛光环，其中，法兰轴的底端固定在多环刚性基底的顶端，多环刚性基底的底端设有具有相同圆心的多个圆环形凸台，柔性环可以柔性变形，柔性环由多个同心圆环组成，柔性环的顶端固定在多个圆环形凸台上，抛光环由多个同心圆环组成，抛光环的顶端固定在柔性环的底端上。本发明的磨头能够通过柔性环的柔性变形，自动补偿由机床、装调或工件本身带来的误差，实现非球面的高质量抛光。

主权项

多环形自适应抛光磨头，包括法兰轴(1)，其特征在于，还包括，多环刚性基底(3)、柔性环(4)和抛光环(5)；所述法兰轴(1)的底端固定在多环刚性基底(3)的顶端；所述多环刚性基底(3)的底端设有具有相同的圆心且按照半径从小到大，从内到外依次排列的多个圆环形凸台；所述柔性环(4)可以柔性变形，柔性环(4)由具有相同的圆心且按照半径从小到大，从内到外依次排列的多个圆环组成，柔性环(4)的顶端固定在圆环形凸台的底端；所述抛光环(5)由具有相同的圆心且按照半径从小到大，从内到外依次排列的多个圆环组成，抛光环(5)的顶端固定在柔性环(4)的底端上，所述抛光环(5)的多个圆环的底面具有相同的曲率半径。