一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置及其净化处理混合气体的方法

摘要

一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置及其净化处理混合气体的方法，涉及混合气体分离净化处理装置及其净化处理混合气体的方法。本发明解决现有技术存在SF₆和N₂混合气体无法进行分离，造成SF₆气体不能进行循环利用的问题。装置由混合气体入口管、缓冲罐、干燥器、压力传感器、网布式过滤器、压缩机、风冷器、热交换器、制冷机组、精馏塔、提纯罐、碱液槽、真空泵、液态灌装机及气体出口管组成。方法：混合气体回收至提纯罐，SF₆气体固化，提纯罐中N₂抽出，提纯罐中SF₆气体加热，提纯罐中SF₆气体灌装，处理后SF₆气体质量检测。本发明用于六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置及其净化处理混合气体的方法。

主权项

一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置，其特征在于：一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置由混合气体入口管(1)、一级干燥器(3)、二级干燥器(4)、第一压力传感器(5)、网布式过滤器(6)、压缩机(7)、风冷器(8)、‑40℃制冷机组(12)的第一热交换器(9)、‑40℃制冷机组(12)的第二热交换器(10)、‑80℃制冷机组(13)的第三热交换器(11)、精馏塔(14)、提纯罐(15)、第二缓冲罐(16)、液态灌装机(19)及气体出口管(20)组成；混合气体入口管(1)与手动球阀C₁(21)的入口端相连接，手动球阀C₁(21)的出口端与电磁阀V₂(23)入口端相连接，在手动球阀C₁(21)与电磁阀V₂(23)之间设有压力表，电磁阀V₂(23)的出口端与稳压阀F₁(24)的一端相连接，稳压阀F₁(24)的另一端与一级干燥器(3)的入口端相连接，一级干燥器(3)的出口端与二级干燥器(4)的入口端相连接，二级干燥器(4)的出口端与网布式过滤器(6)一端相连接，在二级干燥器(4)与网布式过滤器(6)之间设有第一压力传感器(5)，网布式过滤器(6)的另一端与手动球阀C₃(25)一端相连接，手动球阀C₃(25)的另一端与压缩机(7)入口端相连接，压缩机(7)出口端与风冷器(8)的一端相连接，风冷器(8)的另一端与单向阀S₁(26)的入口端相连接，单向阀S₁(26)的出口端与‑40℃制冷机组(12)的第一热交换器(9)入口端相连接，在单向阀S₁(26)的出口端与‑40℃制冷机组(12)的第一热交换器(9)入口端之间设有压控开关(27)，‑40℃制冷机组(12)的第一热交换器(9)的出口端分别与电磁阀V₃(28)的入口端及电磁阀V₅(40)的入口端相连接，且电磁阀V₃(28)的入口端与电磁阀V₅(40)的入口端相连接，电磁阀V₃(28)的出口端与手动球阀C₄(29)的一端相连接，手动球阀C₄(29)的另一端与精馏塔(14)相连接，所述的精馏塔(14)内设有‑40℃制冷机组(12)的第二热交换器(10)；所述的‑40℃制冷机组(12)的第一热交换器(9)上设有制冷剂进口阀D₁(12‑1)；所述的‑40℃制冷机组(12)的第二热交换器(10)上设有制冷剂进口阀D₂(12‑2)；精馏塔(14)上端与手动球阀C₉(30)一端相连接，手动球阀C₉(30)的另一端与电磁阀V₆(31)的一端相连接，电磁阀V₆(31)的另一端与手动球阀C₁₀(32)的一端相连接，手动球阀C₁₀(32)的另一端与第二缓存罐(16)下端相连接，第二缓存罐(16)上端与手动球阀C₁₂(33)的一端相连接，手动球阀C₁₂(33)的另一端与电磁阀V₇(34)的入口端相连接，电磁阀V₇(34)的出口端与电磁阀V₉(39)的入口端相连接；精馏塔(14)下端与提纯罐(15)相连通，提纯罐(15)内设有‑80℃制冷机组(13)的第三热交换器(11)，提纯罐(15)内底部设有电加热棒(15‑5)，提纯罐(15)中部设有温度传感器(15‑4)，提纯罐(15)外部底端设有称重传感器(15‑6)；所述的‑80℃制冷机组(13)的第三热交换器(11)上设有制冷剂出口阀C₁₃(13‑1)及制冷剂入口阀C₁₄(13‑2)；提纯罐(15)下端与手动球阀C₅(41)的一端相连通，手动球阀C₅(41)的另一端与手动球阀C₆(42)的一端相连通，手动球阀C₆(42)的另一端与液态灌装机(19)的入口端相连接，液态灌装机(19)的出口端与单向阀S₂(43)的入口端相连接，单向阀S₂(43)的出口端与电磁阀V₄(44)的入口端相连接，电磁阀V₄(44)的出口端分别与手动球阀C₇(46)的入口端、电磁阀V₅(40)的出口端及电磁阀V₉(39)的出口端相连接，且电磁阀V₅(40)的出口端分别与电磁阀V₉(39)的出口端及手动球阀C₇(46)的入口端相连接，电磁阀V₉(39)的出口端与手动球阀C₇(46)的入口端相连接，在电磁阀V₄(44)与手动球阀C₇(46)之间设有第三安全阀(45)及压力表，手动球阀C₇(46)的出口端与气体出口管(20)相连通。