发明名称 一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液及其制备方法
摘要 本发明公开一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液,由以下A、B、C、D、E五种组分组成:A组分为固体柠檬酸;B组分为双氧水;C组分为胺类化合物;D组分为氨基酸类化合物;E组分为去离子水;上述组分的加入量按质量计算为:A组分为5~150份,B组分为10~100份,C组分为1~20份,D组分为1~20份,E组分为100份;优选所述A组分纯度大于99.8%,所述B组分的质量浓度为30%;本发明还公开上述腐蚀液的制备方法;本发明能够较好控制腐蚀液的腐蚀速率,增强腐蚀的均匀性,彻底去除残留物,以获得侧面台阶平整的电池栅线结构。
申请公布号 CN104178172A 申请公布日期 2014.12.03
申请号 CN201410408330.4 申请日期 2014.08.19
申请人 厦门乾照光电股份有限公司 发明人 蔡建九;吴洪清;林志伟;陈凯轩;张永;王向武
分类号 C09K13/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C09K13/00(2006.01)I
代理机构 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 代理人 李振瑞
主权项 一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液,由以下A、B、C、D、E五种组分组成:A组分为固体柠檬酸;    B组分为双氧水;  C组分为胺类化合物;D组分为氨基酸类化合物;E组分为去离子水; 上述组分的加入量按质量计算为:A组分为5~150份,B组分为10~100份,C组分为1~20份,D组分为1~20份,E组分为100份。
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