发明名称 |
一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液,由以下A、B、C、D、E五种组分组成:A组分为固体柠檬酸;B组分为双氧水;C组分为胺类化合物;D组分为氨基酸类化合物;E组分为去离子水;上述组分的加入量按质量计算为:A组分为5~150份,B组分为10~100份,C组分为1~20份,D组分为1~20份,E组分为100份;优选所述A组分纯度大于99.8%,所述B组分的质量浓度为30%;本发明还公开上述腐蚀液的制备方法;本发明能够较好控制腐蚀液的腐蚀速率,增强腐蚀的均匀性,彻底去除残留物,以获得侧面台阶平整的电池栅线结构。 |
申请公布号 |
CN104178172A |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
申请号 |
CN201410408330.4 |
申请日期 |
2014.08.19 |
申请人 |
厦门乾照光电股份有限公司 |
发明人 |
蔡建九;吴洪清;林志伟;陈凯轩;张永;王向武 |
分类号 |
C09K13/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C09K13/00(2006.01)I |
代理机构 |
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 |
代理人 |
李振瑞 |
主权项 |
一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液,由以下A、B、C、D、E五种组分组成:A组分为固体柠檬酸; B组分为双氧水; C组分为胺类化合物;D组分为氨基酸类化合物;E组分为去离子水; 上述组分的加入量按质量计算为:A组分为5~150份,B组分为10~100份,C组分为1~20份,D组分为1~20份,E组分为100份。 |
地址 |
361000 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔天路259-269号 |