一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法

摘要

一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统及方法。系统包括飞秒矢量光场产生系统、空间滤波组件、计算机和三维移动平台；在飞秒激光系器输出直线光路上，依次设置1/2波片、格兰激光棱镜、扩束镜和飞秒矢量光场产生系统：经加载全息相位板的反射式纯相位空间光调制器后的光路上设置4f系统，频谱面上设置空间滤波器，经空间滤波器透过的正负一级衍射光分别通过一1/4波片，并经Rochi光栅合成为一束激光。经空间滤波组件、电子光阑、聚焦透镜和三维移动平台将材料调节至焦点位置，其中空间光调制器、电子光阑和三维移动平台通过数据线与计算机连接。本装置结构简单，便于操作，可以制备多种图案的微孔阵列，提高加工效率。

主权项

一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统，其特征在于该系统包括飞秒矢量光场产生系统、空间滤波组件、计算机和三维移动平台；在飞秒激光器（1）输出直线光路上，依次设置有二分之一波片（2）、格兰激光棱镜（3）和第一高反镜（4），经第一高反镜（4）的第一反射光路上依次设置扩束镜和飞秒矢量光场产生系统；扩束镜由凹透镜（5）和第一凸透镜（6）组成，飞秒矢量光场产生系统由反射式纯相位空间光调制器（7）、第一4f系统和Rochi光栅（12）组成；经反射式纯相位空间光调制器（7）后的第二反射光路上设置第一4f系统、Rochi光栅（12）和第二高反镜（13），第一4f系统由第二消色差凸透镜（8）、频谱面上的第一空间滤波器（9）、双四分之一消色差波片（10）和第三消色差凸透镜（11）组成，正负一级衍射光经Rochi光栅（12）合成为一束光再依次经过第二高反镜（13）的第三反射光路和第三高反镜（14）的第四反射光路，第四反射光路上设置有所述的空间滤波组件和电子光阑（18），空间滤波组件由第四消色差凸透镜（15）、频谱面的第二空间滤波器（16）及第五消色差凸透镜（17）组成；第四高反镜（19）的第五反射光路上依次设置有聚焦透镜（20）和三维移动平台（21），反射光经聚焦透镜（20）后照射到放置在三维移动平台（21）上的位于聚焦透镜（20）的焦点上的材料上；其中反射式纯相位空间光调制器（7）、电子光阑（18）和三维移动平台（21）通过数据线与计算机（22）连接。