| 发明名称 | 一种太阳能电池钝化膜的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种太阳能电池钝化膜的制作方法，(1)将P型多晶硅片完成酸制绒、磷扩散、刻蚀清洗工序后采用臭氧对硅片表面进行氧化钝化，生成一层二氧化硅薄层，所述臭氧浓度为10～40mg/L，流量为2～10slm，反应时间为2～10分钟；(2)将氧化钝化后的硅片送入镀膜设备中，在二氧化硅薄层表面沉积一层均匀的氮化硅薄层。本发明可有效提升短路电流和开路电压，电池效率将有0.1%左右的提升，同时成本低廉，且该技术与传统镀膜工艺兼容，适合于大批量生产。 | ||
| 申请公布号 | CN104183670A | 申请公布日期 | 2014.12.03 |
| 申请号 | CN201410448332.6 | 申请日期 | 2014.09.05 |
| 申请人 | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 | 发明人 | 黄纪德;蒋方丹;金浩;陈康平 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人 | 吴关炳 |
| 主权项 | 一种太阳能电池钝化膜的制作方法，其特征在于：(1)将P型多晶硅片完成酸制绒、磷扩散、刻蚀清洗工序后采用臭氧对硅片表面进行氧化钝化，生成一层二氧化硅薄层，所述臭氧浓度为10～40mg/L，流量为2～10slm，反应时间为2～10分钟；(2)将氧化钝化后的硅片送入镀膜设备中，在二氧化硅薄层表面沉积一层均匀的氮化硅薄层。 | ||
| 地址 | 314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇工业区袁溪路58号 | ||