| 发明名称 | 带有除害功能的真空泵 | ||
| 摘要 | 本发明以低成本且迅速地提供一种带有除害功能的真空泵，其在真空泵的后级附设有小型且可拆卸的除害部，通过变更所附设的除害部的种类、个数、排列的组合，从而可符合所要求的除害性能。该带有除害功能的真空泵(1)，在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而无害化的除害部(10)，废气的处理形式及/或废气的处理量及/或废气的处理性能不相同的多个除害部(10)中至少一个除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。 | ||
| 申请公布号 | CN104179688A | 申请公布日期 | 2014.12.03 |
| 申请号 | CN201410217789.6 | 申请日期 | 2014.05.21 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 川村兴太郎;篠原丰司;杉浦哲郎;荒井秀夫;京谷敬史;中泽敏治;石川敬一;柏木诚司;铃木康彦 |
| 分类号 | F04C29/12(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;F04C23/00(2006.01)I | 主分类号 | F04C29/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;刘煜 |
| 主权项 | 一种带有除害功能的真空泵，其特征在于，在真空泵的排气口附设有对从真空泵排出的废气进行处理而无害化的除害部，废气的处理形式及/或废气的处理量及/或废气的处理性能不相同的多个除害部中的至少一个除害部与所述真空泵的排气口连接。 | ||
| 地址 | 日本东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||