发明名称 同位体イオン顕微鏡方法およびシステム
摘要 Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, He-3 is used.
申请公布号 JP5634396(B2) 申请公布日期 2014.12.03
申请号 JP20110514670 申请日期 2009.05.26
申请人 发明人
分类号 G01N23/225;H01J37/252;H01J37/30 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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