电磁铁线圈组件、半导体加工设备及其控制方法

摘要

本发明公开了一种电磁铁线圈组件、半导体加工设备及其控制方法，使用较少的电流源为四组电磁铁线圈供电，降低了成本。该电磁铁线圈组件包括：两个控制电路，每个控制电路包括线圈选择电路；线圈选择电路包括：第一单刀双掷开关，其固定端连接于第一节点，其两个选择端分别连接于第三节点和第四节点；第二单刀双掷开关，其固定端连接于第二节点，其两个选择端分别连接于第五节点和第六节点；第一线圈选择电路中，第三节点连接于第一线圈，第四节点连接于第三线圈，第五节点连接于第一线圈，第六节点连接于第三线圈；第二线圈选择电路中，第三节点连接于第四线圈，第四节点连接于第二线圈，第五节点连接于第四线圈，第六节点连接于第二线圈。

主权项

一种电磁铁线圈组件，其特征在于，包括：四组电磁铁线圈，所述四组电磁铁线圈包括：位于上层外侧的第一线圈，位于上层内侧的第二线圈，位于下层内侧的第三线圈和位于下层外侧的第四线圈；两个控制电路，每个所述控制电路包括电流源和线圈选择电路；所述线圈选择电路包括：第一单刀双掷开关，其固定端连接于第一节点，其两个选择端分别连接于第三节点和第四节点；第二单刀双掷开关，其固定端连接于第二节点，其两个选择端分别连接于第五节点和第六节点；第一节点和第二节点分别连接于所述电流源的两极；所述两个控制电路中的线圈选择电路分别为第一线圈选择电路和第二线圈选择电路；在所述第一线圈选择电路中，第三节点连接于所述第一线圈的第一抽头，第四节点连接于所述第三线圈的第一抽头，第五节点连接于所述第一线圈的第二抽头，第六节点连接于所述第三线圈的第二抽头；在所述第二线圈选择电路中，第三节点连接于所述第四线圈的第一抽头，第四节点连接于所述第二线圈的第一抽头，第五节点连接于所述第四线圈的第二抽头，第六节点连接于所述第二线圈的第二抽头。