基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统

摘要

该实用新型公开了一种基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统，包括光源、压缩透镜组、待测周期结构、检测器及数据处理器。光源激励出光斑直径大小为4.9-5.1mm的平行光，该光束通过压缩透镜组被压缩为直径为49-51μm的平行光，此平行光入射到安置台上的待测周期结构表面，实现反射，检测器检测并提取反射光参数，最后通过数据处理器的电磁模拟/分析软件优化分析反射光参数，反衍出待测结构的关键尺寸。该实用新型直接实现微光斑平行光束的测试系统能够很大程度上提高OCD测试系统测试小尺寸结构的精度与速度。

主权项

一种基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统，包括光源、压缩透镜组、待测周期结构、检测器及数据处理器，其特征在于光源激励出光斑直径大小为4.9‑5.1mm的平行光，该光束通过压缩透镜组被压缩为直径为49‑51μm的平行光，此平行光入射到安置台上的待测周期结构表面，实现反射，检测器检测提取反射光参数并反衍出待测结构的关键尺寸。