旋转扩散石英舟

摘要

本实用新型涉及一种旋转扩散石英舟，由四块呈矩形结构的石英挡板以长边为衔接端两两相接围合而成，其一端设置有用于连接旋转电机的接头，并且每块石英挡板的其中一条长边上设置有硅片卡扣；所述石英挡板之间通过石英板卡扣可拆式连接；所述硅片卡扣呈L形。这种旋转扩散石英舟会保证每片硅片四周所接受到的P元素量相当，最终控制了方阻极差，可达到5欧以下，这样下来电池的电性能也将得到可观的改善。

主权项

一种旋转扩散石英舟，其特征在于：由四块呈矩形结构的石英挡板（1）以长边为衔接端两两相接围合而成，其一端设置有用于连接旋转电机的接头（4），并且每块石英挡板（1）的其中一条长边上设置有硅片卡扣（2）。