| 发明名称 | 铁电薄膜形成用组合物、铁电薄膜的形成方法及铁电薄膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种适合用于高容量密度的薄膜电容器的铁电薄膜形成用组合物、铁电薄膜的形成方法及通过该方法形成的铁电薄膜。一种用于形成PLZT等铁电薄膜的铁电薄膜形成用组合物，其特征在于，该组合物为用于形成采取混合复合金属氧化物形态的薄膜的液态组合物，所述混合复合金属氧化物在通式：(Pb<sub>x</sub>La<sub>y</sub>)(Zr<sub>z</sub>Ti<sub>(1-z)</sub>)O<sub>3</sub>(式中0.9＜x＜1.3，0≤y＜0.1，0≤z＜0.9)所示的复合金属氧化物A中，混合含有Bi的复合金属氧化物B，并且由有机金属化合物溶液构成，所述有机金属化合物溶液中，各原料以成为如提供上述通式所示的金属原子比的比例的方式溶解于有机溶剂中，另外，构成复合金属氧化物B的原料为正辛酸基通过其氧原子与金属元素键合的化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN102219507B | 申请公布日期 | 2014.12.03 |
| 申请号 | CN201110093553.2 | 申请日期 | 2011.04.12 |
| 申请人 | 三菱综合材料株式会社 | 发明人 | 藤井顺;桜井英章;曽山信幸 |
| 分类号 | H01L21/71(2006.01)I;C04B35/472(2006.01)I;C04B35/491(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/71(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 陈万青;王珍仙 |
| 主权项 | 一种铁电薄膜形成用组合物，其用于形成选自PLZT、PZT及PT中的1种铁电薄膜，其特征在于，该组合物为用于形成采取混合复合金属氧化物形态的薄膜的液态组合物，所述混合复合金属氧化物在通式：(Pb<sub>x</sub>La<sub>y</sub>)(Zr<sub>z</sub>Ti<sub>(1‑z)</sub>)O<sub>3</sub>所示的复合金属氧化物A中，混合含有Bi的复合金属氧化物B，在所述通式中，0.9＜x＜1.3，0≤y＜0.1，0≤z＜0.9，并且由有机金属化合物溶液构成，所述有机金属化合物溶液中，用于构成所述复合金属氧化物A的原料及用于构成所述复合金属氧化物B的原料以提供上述通式所示的金属原子比的比例溶解于有机溶剂中，用于构成所述复合金属氧化物B的原料为正辛酸基通过其氧原子与金属元素键合的化合物。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||